Doping engineering for front-end processing - Symposium held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.S.A
- Författare
- (Editors: B.J. Pawlak ..)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 2008 | Pennsylvania, Warrendale, Pa | xi, 319 sidor. ill. | 978-1-60511-040-0 |